Raddatz, Klaus-Dieter: Das Zerstäubungsverhalten von Halbleitern während der Oberflächenstrukturierung mit niederenergetischen Edelgasionen. Dissertation.

Name: Raddatz, Klaus-Dieter: Das Zerstäubungsverhalten von Halbleitern während der Oberflächenstrukturierung mit niederenergetischen Edelgasionen. Dissertation.
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Wuppertal 1992, .

105 S. : Ill., graph. Darst., 21 cm, Bibliotheksexemplar.

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Autor: Raddatz, Klaus-Dieter

Titel: Das Zerstäubungsverhalten von Halbleitern während der Oberflächenstrukturierung mit niederenergetischen Edelgasionen. Dissertation

Verlagsort: Wuppertal 1992

Händler-Kategorie: Ingenieurwesen, Elektrotechnik

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